■ 조세특례제한법 시행령 [별표 1] <신설 2023. 2. 28.>
무상 기증 시 세액공제를 적용받는 시설ㆍ장비(제7조의2제13항 관련)
구분	시설ㆍ장비
1. 전공정 시설ㆍ장비	가. 웨이퍼 제작 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 나. 산화 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 다. 포토 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 라. 식각 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 마. 이온주입 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 바. 증착 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 사. 화학기계적 연마 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 아. 금속배선, 패키징과 테스트 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 자. 계측 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 차. 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 공정에 사용되는 시설ㆍ장비
2. 후공정 시설ㆍ장비	가. 후면연삭(Back Grinding) 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 나. 절단(Wafer Dicing) 및 접착(Attach) 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 다. 와이어본딩(Wire Bonding) 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 라. 몰딩(Molding) 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 마. 패키징 및 테스트 공정에 사용되는 시설ㆍ장비 바. 계측 공정에 사용되는 시설ㆍ장비