[별표 2]
첨단기술설비(제13조제2항관련)
구 분	적 용 범 위
1.생산자동화설비 및 생산자동화제어설비 2.가공설비 및 품질향상설비 3.자동 계측·검사 및 계량설비	가. 제품의 설계 및 생산을 위한 컴퓨터와 수주·출하 및 판매 등에 대한 경영정보의 관리를 위한 컴퓨터의 본체·주변기기(CAD/CAM·보조기억장치·프린터·플로터·윅스테이션·모뎀·단말기·인터베이스 및 정전압전원공급장치에 한한다) 및 소프트웨어 나. 제조설비를 자동으로 제어하기 위한 공정제어기기 또는 공정제어시스템 및 동 장치의 부분품 (1)프로그래머블로직콘트롤러(PLC) 및 수치제어장치(NC 또는 CNC)를 이용한 설비 (2)로보트 콘트롤러 및 컴퓨터통합시스템(CIM)과 관련단위 기기 (3)유공압밸브·유압펌프·공기압축기 및 유공압 액튜에이터 다. 주공정 또는 기능의 제어가 마이크로프로세서 또는 수치제어장치에 의하여 자동으로 조절되는 기계장치 또는 설비 라. 2이상의 기계를 조립하여 자동으로 제어하는 생산 또는 가공시스템(FMC·FMS 및 Transfer Line을 포함한다) 마. 원자재·부품 및 완제품을 보관·저장 및 반출하기 위한 자동창고시스템 및 하역장비(Loader & Unloader) 바. 분산제어장치·종합정보표시판·무정전원공급장치·제어밸브·신호전송기 및 부속기기 사. 화학물질의 합성과정에서 요구되는 반응온도·압력 및 시간농도를 자동으로 일정하게 유지되도록 하는 자동제어시스템·화학반응합성장치 및 부속설비 가. 웨이퍼절단설비·식각설비·회로형성설비·칩팩킹 및 조립장비등의 반도체 가공설비와 고순도 실리콘 양성설비 나. 제어장치가 부착된 신선기·연선기·권선기 및 테이핑기, 전극 및 자극의 착탈설비, 진공·청정·방폭등의 공기조절설비 및 기밀봉지설비, 도포·증착 및 성막설비, 노광·현상·식각 및 트리밍설비, 정면·연마·연취 및 적충설비 다. 방사속도 6천미터/분이상의 초고속방사설비와 고강도·고기능 섬유의 생산설비 라. 원료수지를 중합·화학변성 또는 물리변성한 제품을 제조하는 주설비 및 부속설비 마. 신소재 생산설비 (1)섭씨 1천도이상의 온도에서 가압력 1천톤이상인 성형·정압·고속 프레스 (2)섭씨 1천350도이상에서 언제나 소성이 가능한 고온소성설비와 분위기소성 및 가압소성설비 (3)단결정 및 다결정을 육성하는 설비 (4)광석 또는 스크랩을 제련·정련 또는 주조하는 설비와 압연·절단·냉각·교정·집적 또는 이송하는 열간 및 냉간압연설비(냉간성형설비를 포함한다) 공기를 포집 및 분리하여 산소를 제조하는 가스발생기, 발전 및 수배전설비, 전압 및 전류조정설비 (5)성형·용접·열처리·인발·신선제조 및 연선제조설비, 소재에 도금·도장하는 표면처리설비 (6)고압의 가스나 물로 용융된 금속을 분사시켜 금속분말을 제조하는 설비 (7)광석 또는 제련부산물로부터 회유금속을 제조하는 설비 (8)전기적 또는 화학적 방법에 의하여 고순도금속을 제조하는 설비 (9)레이저·플라즈마 또는 화학적 방법을 이용하여 금속의 박막을 제조하는 설비 바. 항공기·비행체·위성체·유도발사체 및 그 부품(보조기기·전자장비·동력전달장치 및 발사조정장치에 한한다)의 제조설비 사. 미생물과 동·식물세포의 배양 및 증식설비, 발효공정 및 생물공정에 관련된 장치 아. 중질유분해설비 가. 원료·부품 및 제품의 기계적 성질·물리적성질·화학적 양, 전기전자적 양의 분석·검사·시험 또는 계측에 사용하는 자동화된 기기 및 설비와 원료·부품 및 제품의 기능시험·성능시험·작동상태점검 또는 양품선별등의 기능을 수행하는 자동화된 기기 및 설비 나. 생산제품을 일정량씩 자동으로 계량·계수·충전 또는 포장하는 자동포장기 및 봉합기 다. 프로그램에 의하여 온도·습도·전압 및 주파수등을 제어할 수 있는 기능을 가진 환경 및 조건부여시험기 라. X선·방사선·레이저 또는 전자파를 이용한 검사설비 마. 가공공정에서 생산제품의 치수정밀도를 연속적으로 측정하는 설비 바. 금속 및 세라믹분말의 입도를 측정하는 설비 사. 금속표면에 형성된 박막의 조성·표면조도 및 자기도를 측정하는 장치 아. 신호를 분석·발생 및 측정하는 설비 자. 생화학적 분석 및 검사를 하는 기기와 생체현상을 측정하거나 기록하는 설비 차. 컴퓨터에 접속되어 작동하는 기능분석 및 성능시험등을 하는 기기